纳米材料研究与器件开发的新技术路线—Nano-X

随着纳米器件尺度的进一步缩小，材料的表面、界面特性对器件性能的影响越来越大，而目前的制造技术却很难解决大气环境（特别是氧、碳、水气）在工艺过程中对材料表面的不利影响。另一方面，纳米新材料的不断涌现，应用基础研究和器件工艺开发越来越重要，迫切需要将从材料到器件各个阶段的研究和开发紧密结合起来，创新研究手段，突破技术难题。中科院苏州纳米所在建的纳米真空互联实验站（Nano-X）将开创一条新的科学研究和技术开发路线。它不但要建立一个全真空环境，最大限度排除大气的不利影响，而且把材料生长、器件工艺、测试分析的各种设备有机互联在一起，提供从基础研究到产业化的全链条支撑。这就可以更有效的探索材料、器件的本征性质，开发材料、新工艺、新器件，大大缩短和简化从基础研究到应用开发的过程。试验站的建设方案将包括若干具有综合功能的材料生长、表征测试、及器件工艺开发的模块，相互关联，互为支撑，从而可以在同一系统内、真空或可控环境下进行：1）纳米材料的生长和各种性质的测量与分析；2）异质结的表面与界面特性分析；3）材料的位错和缺陷分析；4）表面态与能带结构分析；5）关键工艺机理研究；6）新工艺技术开发；7）纳米器件加工的精确控制等。Nano-X是一个开放的平台，面向国内外的科学家与研究团队。其变革性的研究方法与技术可以支撑众多学科的交叉融合、突破创新。目前项目的建设已经取得很大进展，可以同步开展一些研究工作，预计明年完成小型验证装置。