飞秒激光制备人工微结构：从大尺度、高精度激光三维打印到铌酸锂薄膜光子芯片

近30余年，由于微纳制备技术的发展与走向成熟，推动了人工微结构光子学领域的科学创新与产业变革。直至目前，主流微纳制备技术仍然大量借助于半导体平面刻蚀，因此在三维结构制备以及向非半导体材料进行拓展等方面都存有局限。近10余年来兴起的飞秒激光微纳加工技术可以弥补这两点缺陷，为新型人工微结构材料的制备和应用提供了增长空间。我们展示利用该技术实现的厘米尺度、微米精度的三维激光打印，以及基于铌酸锂薄膜这一新材料的非线性光子回路。